低溫真空波紋補償器的抽氣原理，真空波紋補償器是利用低溫表面冷凝和吸附氣體來獲得和保持真空的裝置。低溫真空波紋補償器的抽氣原理當氣體粒子入射到溫度足夠低的低溫面上時，它們會喪失相當多的動能，以致在一定的條件下，通過凝聚，低溫吸附，低溫捕集或吸氣而粘附于表面，使空間的氣體分子數越來越少，實現了抽氣作用。

氣體主要以凝聚在低溫表面上而波紋補償器的波紋補償器稱為低溫冷凝波紋補償器。低溫冷凝波紋補償器波紋補償器時對氣體類型是有選擇的，不同溫度的低溫表面冷凝不同種氣體，達到不同的極限真空度.只有沸點高于固體表面溫度的氣體分子才能被冷凝抽除。利用低溫表面上的吸附劑和打在其上的氣休分子發生吸附而達到抽氣作用的波紋補償器稱為低溫吸附波紋補償器。吸附劑可分金屬型和非金屬型兩類:金屬型吸附劑主要有鐵、鉭、鑰等，以蒸發或升華的形式沉積在低溫面上達到吸氣目的;非金屬型吸附劑以活性炭和分子篩為主，用低溫粘結劑粘在低溫面上，在溫度降低時大量吸附氣體。

低溫捕集或吸附是利用二氧化碳、熱汽等易冷凝的氣體，在低溫面上凝結的同時，將不易冷凝的氣體一起埋葬或吸附抽除.實際應用的低溫波紋補償器常將低溫冷凝、吸附和捕集作用結合起來，對各種氣體都有抽氣作用。