電子工業生產中真空波紋補償器的選擇

(1)被抽真空容器的體積及生產率要求。

(2)所要求的真空度。

(3)抽出氣體的種類。

(4)工作期間工件和系統的放氣橄和漏氣。目前在我國電子工業生產中，常用的真空波紋補償器的基本類型主要是機械波紋補償器和油擴散波紋補償器?，F僅就這兩種類型真空波紋補償器的選擇問題簡介如下。機械波紋補償器工作的基本原理是利用轉子，將機械波紋補償器的工作空間周期性的壓縮和膨脹，從而排出容器中的氣體。機械波紋補償器按結構特征可分為真空波紋補償器、定片式真空波紋補償器、滑閥式真空波紋補償器、多片式直空波紋補償器和雙轉子真空波紋補償器(松夏波紋補償器)等。目前在我國電子工業生產中，應用較多的是真空波紋補償器。機械波紋補償器工作性能的好壞，受很多因素的影響，如結構形狀、加工精度、機械波紋補償器的性能、工作環境、被抽氣體種類和機件磨損情況等。日前雖然有人在理論上從波紋補償器的有害空間、氣密性、極限壓強、抽氣速率和壽命等方面分析后，認為滑閥式最好，定片式次之、轉片式較差，但是尚未提供有力的證據。